စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်တောက်ခြင်းနည်းပညာကို စုစည်းမှု အနုနည်းဖြတ်တောက်ခြင်းနည်းပညာဟုလည်း ခေါ်သည်။၎င်းသည် သံမဏိဝါယာကြိုး၏မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ စိန်အညစ်အကြေးများကို လျှပ်စစ်ပလပ်စတစ် သို့မဟုတ် သစ်စေးချည်နှောင်ခြင်းနည်းလမ်းကို အသုံးပြုခြင်းဖြစ်ပြီး ကြိတ်ခွဲခြင်း၏အကျိုးသက်ရောက်မှုကိုရရှိစေရန်အတွက် ဆီလီကွန်လှံတံ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် တိုက်ရိုက်လုပ်ဆောင်သော စိန်ဝါယာကြိုးများဖြစ်သည်။စိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်တောက်ခြင်းတွင် ဖြတ်တောက်ခြင်းမြန်ဆန်ခြင်း၊ ဖြတ်တောက်ခြင်း တိကျမှုမြင့်မားခြင်းနှင့် ပစ္စည်းဆုံးရှုံးမှုနည်းပါးခြင်း၏ ဝိသေသလက္ခဏာများရှိသည်။
လက်ရှိတွင်၊ စိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်တောက်ခြင်းဆီလီကွန်ဝေဖာအတွက် တစ်ခုတည်းသော crystal စျေးကွက်ကို အပြည့်အဝလက်ခံထားပြီးဖြစ်သော်လည်း ပရိုမိုးရှင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင်လည်း ကြုံတွေ့နေရပြီး ကတ္တီပါအဖြူသည် အဖြစ်အများဆုံးပြဿနာဖြစ်သည်။ယင်းကိုကြည့်ခြင်းအားဖြင့်၊ ဤစာတမ်းသည် စိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်တောက်ခြင်းကို မည်သို့ကာကွယ်ရမည်ကို အလေးပေးဖော်ပြထားသည်။
monocrystalline silicon wafer စိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်တောက်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်သည် ဝိုင်ယာလွှစက်ဖြင့် ဖြတ်ထားသော ဆီလီကွန်ဝေဖာကို အစေးပြားမှ ဖယ်ရှားရန်၊ ရော်ဘာအကန့်ကို ဖယ်ရှားပြီး ဆီလီကွန်ဝေဖာကို သန့်စင်ရန် ဖြစ်သည်။သန့်ရှင်းရေးသုံးပစ္စည်းများမှာ အဓိကအားဖြင့် အကြိုသန့်ရှင်းရေးစက် (degumming machine) နှင့် သန့်ရှင်းရေးစက်ဖြစ်သည်။အကြိုသန့်ရှင်းရေးစက်၏ အဓိက သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်မှာ အစာကျွေးခြင်း-မှုတ်ဆေး-ဖြန်းဆေး-အာလ်ထရာရိုးနစ် သန့်ရှင်းရေး-ဒက်ချခြင်း-ရေသန့်ဆေးခြင်း-နို့တိုက်ကျွေးခြင်း တို့ဖြစ်သည်။သန့်စင်ရေးစက်၏ အဓိက သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်မှာ အစာကျွေးခြင်း- သန့်စင်သောရေကို ဆေးကြောခြင်း- သန့်စင်သောရေဖြင့် ဆေးကြောခြင်း- အယ်ကာလီဆေးကြောခြင်း- အယ်လ်ကာလီဆေးကြောခြင်း- သန့်စင်သောရေဖြင့် ဆေးကြောခြင်း- ရေစင်အောင်ဆေးခြင်း- ရေဓာတ်ခန်းခြောက်ခြင်း (နှေးကွေးစွာ ရုတ်သိမ်းခြင်း) - အခြောက်ခံခြင်း- တိုက်ကျွေးခြင်း။
တစ်ခုတည်းသော crystal ကတ္တီပါပြုလုပ်ခြင်း၏နိယာမ
Monocrystalline silicon wafer သည် monocrystalline silicon wafer ၏ anisotropic corrosion ၏ ဝိသေသဖြစ်သည်။တုံ့ပြန်မှုနိယာမသည် အောက်ပါဓာတုတုံ့ပြန်မှုညီမျှခြင်းဖြစ်သည်
Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑
အနှစ်သာရအားဖြင့်၊ suede ဖွဲ့စည်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်သည်- မတူညီသောပုံဆောင်ခဲမျက်နှာပြင်၏ကွဲပြားသောချေးနှုန်းအတွက် NaOH ဖြေရှင်းချက်၊ (100) မျက်နှာပြင်ချေးနှုန်း (111) ထက် (100)၊ ထို့ကြောင့် (100) မှ anisotropic corrosion ပြီးနောက် မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် နောက်ဆုံးတွင် ဖန်သားပြင်ပေါ်တွင် ဖွဲ့စည်းခဲ့သည်။ (111) လေးဘက်ထောင့်ပုံး (ပုံ 1 တွင်ပြထားသည့်အတိုင်း ပိရမစ်) တည်ဆောက်ပုံ။ဖွဲ့စည်းပုံကိုဖွဲ့စည်းပြီးနောက်၊ အချို့သောထောင့်တစ်ခုတွင် ပိရမစ်လျှောစောက်သို့ အလင်းရောင်ကျရောက်သောအခါ၊ အလင်းသည် အခြားထောင့်တစ်ခုတွင် လျှောစောက်သို့ထင်ဟပ်လာမည်ဖြစ်ပြီး၊ ဒုတိယတစ်ခု သို့မဟုတ် ထို့ထက်ပို၍စုပ်ယူမှုဖွဲ့စည်းနိုင်သောကြောင့် ဆီလီကွန် wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ရောင်ပြန်ဟပ်မှုကို လျော့ကျစေပါသည်။ ဆိုလိုသည်မှာ light trap effect (ပုံ 2 ကိုကြည့်ပါ)။"ပိရမစ်" တည်ဆောက်ပုံ၏ အရွယ်အစားနှင့် တူညီမှု ပိုကောင်းလေ၊ ထောင်ချောက်အကျိုးသက်ရောက်မှုသည် ပိုမိုထင်ရှားလေလေ၊ ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ မျက်နှာပြင်ကို ထုတ်လွှတ်မှု နိမ့်လေလေဖြစ်သည်။
ပုံ ၁
ပုံ 2- "ပိရမစ်" တည်ဆောက်ပုံ၏ အလင်းထောင်ချောက်နိယာမ
တစ်ခုတည်းသော crystal whitening ကိုလေ့လာခြင်း။
အဖြူရောင်ဆီလီကွန် wafer ပေါ်ရှိ အီလက်ထရွန်အဏုစကုပ်ကို စကင်န်ဖတ်ခြင်းဖြင့်၊ ဧရိယာရှိ အဖြူရောင် wafer ၏ ပိရမစ်အသေးစားဖွဲ့စည်းပုံသည် အခြေခံအားဖြင့် မဖွဲ့စည်းထားကြောင်း တွေ့ရှိရပြီး မျက်နှာပြင်တွင် "waxy" အကြွင်းအကျန်အလွှာရှိပုံရပြီး suede ၏ပိရမစ်ဖွဲ့စည်းပုံမှာ၊ တူညီသော ဆီလီကွန် wafer ၏ အဖြူရောင် ဧရိယာတွင် ပိုကောင်းအောင် ဖွဲ့စည်းထားသည် (ပုံ 3 ကိုကြည့်ပါ)။monocrystalline silicon wafer ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် အကြွင်းအကျန်များ ရှိနေပါက၊ မျက်နှာပြင်တွင် ကျန်ရှိသော ဧရိယာ “ပိရမစ်” ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံ အရွယ်အစားနှင့် တူညီသော ထုတ်လုပ်မှုနှင့် ပုံမှန်ဧရိယာ၏ အကျိုးသက်ရောက်မှုသည် မလုံလောက်သောကြောင့် ကျန်ရှိသော ကတ္တီပါမျက်နှာပြင် ရောင်ပြန်ဟပ်မှုသည် ပုံမှန်ဧရိယာထက် မြင့်မားနေမည်ဖြစ်ပါသည်။ ရောင်ပြန်ဟပ်မှု မြင့်မားသော ဧရိယာသည် သာမန်မြင်ရသည့် ဧရိယာနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက အဖြူရောင်အဖြစ် ရောင်ပြန်ဟပ်ပါသည်။အဖြူရောင် ဧရိယာ၏ ဖြန့်ကျက်ပုံသဏ္ဍာန်မှ မြင်တွေ့နိုင်သကဲ့သို့ ၎င်းသည် ကြီးမားသော ဧရိယာတွင် ပုံမှန် သို့မဟုတ် ပုံမှန်ပုံစံမဟုတ်သော်လည်း ဒေသဆိုင်ရာများတွင်သာ ဖြစ်သည်။ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ပတ်ဝန်းကျင်ညစ်ညမ်းမှုများကို မသန့်စင်ရသေးခြင်း သို့မဟုတ် ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ မျက်နှာပြင်အခြေအနေသည် ဒုတိယညစ်ညမ်းမှုကြောင့် ဖြစ်သင့်သည်။
ပုံ 3- ကတ္တီပါအဖြူရောင်ဆီလီကွန် wafers များတွင် ဒေသဆိုင်ရာအသေးစားဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ကွာခြားချက်များကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။
စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်တောက်ခြင်းဆီလီကွန် wafer ၏မျက်နှာပြင်သည် ပိုမိုချောမွေ့ပြီး ပျက်စီးမှုသည် သေးငယ်သည် (ပုံ 4 တွင်ပြထားသည့်အတိုင်း)။မော်တာဆီလီကွန် wafer နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက၊ အယ်လကာလီနှင့် စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်တောက်ခြင်းဆီလီကွန်ဝေဖာမျက်နှာပြင်သည် မော်တာဖြတ်တောက်ခြင်း monocrystalline silicon wafer ထက် နှေးကွေးသောကြောင့် မျက်နှာပြင်အကြွင်းအကျန်များ၏ လွှမ်းမိုးမှုမှာ ကတ္တီပါအကျိုးသက်ရောက်မှုသည် ပိုမိုထင်ရှားပါသည်။
ပုံ 4- (A) စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်ထားသော ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ မျက်နှာပြင် အမိုက်ခရိုဂရပ် (B)
စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်ထားသော ဆီလီကွန် wafer မျက်နှာပြင်၏ အဓိကကျန်ရှိသောအရင်းအမြစ်
(1) Coolant - စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်တောက်ခြင်း coolant ၏ အဓိက အစိတ်အပိုင်းများမှာ surfactant၊ dispersant၊ defamagent နှင့် water နှင့် အခြားသော အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။အထူးကောင်းမွန်သော စွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော ဖြတ်တောက်ခြင်းအရည်သည် ကောင်းမွန်သော suspension၊ ပြန့်ကျဲမှုနှင့် လွယ်ကူသော သန့်ရှင်းရေးလုပ်နိုင်စွမ်းရှိသည်။Surfactants များသည် များသောအားဖြင့် ဆီလီကွန် wafer သန့်ရှင်းရေး လုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဖယ်ရှားရန် လွယ်ကူသော ပိုမိုကောင်းမွန်သော hydrophilic ဂုဏ်သတ္တိများ ရှိပါသည်။ရေထဲတွင် ဤ additives များကို ဆက်တိုက်မွှေပြီး လည်ပတ်ခြင်းသည် အမြှုပ်အမြောက်အမြားကို ထုတ်ပေးမည်ဖြစ်ပြီး coolant စီးဆင်းမှု လျော့နည်းသွားကာ အအေးခံနိုင်စွမ်းကို ထိခိုက်စေကာ အသုံးပြုမှုတွင် ပြင်းထန်သော မြှုပ်နှံမှုများနှင့် ပွက်များပင် ပြည့်လျှံနေသည့် ပြဿနာများကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။ထို့ကြောင့် coolant ကို များသောအားဖြင့် defoaming agent ဖြင့် အသုံးပြုကြသည်။ညစ်ညမ်းစေသော စွမ်းဆောင်ရည်ကို သေချာစေရန်အတွက်၊ ရိုးရာ ဆီလီကွန်နှင့် polyether တို့သည် အများအားဖြင့် ညံ့ဖျင်းသော hydrophilic ဖြစ်သည်။ရေတွင်ရှိသော အညစ်အကြေးများသည် စုပ်ယူရန် အလွန်လွယ်ကူပြီး နောက်ပိုင်း သန့်ရှင်းရေးတွင် ဆီလီကွန် wafer ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ကျန်ရှိနေသဖြင့် အဖြူကွက်များ ပြဿနာကို ဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။coolant ၏ အဓိက အစိတ်အပိုင်းများနှင့် ကောင်းစွာ မကိုက်ညီသောကြောင့် ၎င်းကို အစိတ်အပိုင်း နှစ်ခုအဖြစ် ပြုလုပ်ရမည်ဖြစ်ပြီး ပင်မ အစိတ်အပိုင်းများနှင့် အမြှုပ်ထွက်သော ပစ္စည်းများ ကို ရေတွင် ထည့်ထားကာ အသုံးပြုသည့် လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အမြှုပ်အခြေအနေအရ ပမာဏအရ ထိန်းချုပ်၍မရပါ။ Antifoam အေးဂျင့်များကိုအသုံးပြုခြင်းနှင့်သောက်သုံးခြင်း၊ anoaming အေးဂျင့်များအလွန်အကျွံသုံးစွဲခြင်းကိုအလွယ်တကူခွင့်ပြုနိုင်သည်၊ ဆီလီကွန် wafer မျက်နှာပြင်အကြွင်းအကျန်များတိုးပွားလာစေသည်၊ လည်ပတ်ရန်လည်းပိုမိုအဆင်မပြေ၊ သို့သော်၊ ကုန်ကြမ်းစျေးနှုန်းနိမ့်ကျခြင်းနှင့်အမြှုပ်ထွက်ခြင်းကုန်ကြမ်းများကြောင့်၊ ပစ္စည်းများ၊ ထို့ကြောင့်၊ အိမ်တွင်းအအေးခံပစ္စည်းအများစုသည် ဤဖော်မြူလာစနစ်ကို အသုံးပြုကြသည်။အခြားအအေးခံရည်သည် ညစ်ညမ်းစေသောအေးဂျင့်အသစ်ကိုအသုံးပြုသည်၊ အဓိကအစိတ်အပိုင်းများနှင့် ကောင်းစွာလိုက်ဖက်နိုင်သည်၊ ထပ်တိုးခြင်းမရှိ၊ ၎င်း၏ပမာဏကို ထိထိရောက်ရောက်နှင့် ပမာဏကိုထိန်းချုပ်နိုင်သည်၊ အလွန်အကျွံသုံးစွဲမှုကို ထိထိရောက်ရောက်ကာကွယ်နိုင်သည်၊ လေ့ကျင့်ခန်းသည်လုပ်ဆောင်ရန်အလွန်အဆင်ပြေသည်၊ သင့်လျော်သောသန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့်၎င်း၏ အကြွင်းအကျန်များကို အလွန်နိမ့်ကျသော အဆင့်အထိ ထိန်းချုပ်နိုင်သည်၊ ဂျပန်နှင့် ပြည်တွင်းထုတ်လုပ်သူ အနည်းငယ်သည် ဤဖော်မြူလာစနစ်ကို လက်ခံကျင့်သုံးသော်လည်း၊ ၎င်း၏ ကုန်ကြမ်းစရိတ်ကြီးမြင့်မှုကြောင့် ၎င်း၏စျေးနှုန်းအားသာချက်မှာ ထင်ရှားခြင်းမရှိပေ။
(၂) ကော်နှင့်အစေးဗားရှင်း- စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်တောက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်၏ နောက်ပိုင်းအဆင့်တွင်၊ အဝင်အထွက်အနီးရှိ ဆီလီကွန်ဝေဖာကို ကြိုတင်ဖြတ်ထားပြီး၊ ထွက်ပေါက်အဆုံးရှိ ဆီလီကွန်ဝေဖာသည် ဖြတ်မဖြတ်ရသေးသော၊ အစောပိုင်းဖြတ်ထားသော စိန်တုံး၊ ဝိုင်ယာကြိုးများသည် ရော်ဘာအလွှာနှင့် အစေးပြားများအထိ ဖြတ်စပြုနေပြီ၊ ဆီလီကွန် ကော်နှင့် အစေးဘုတ်များသည် epoxy resin ထုတ်ကုန်များဖြစ်သောကြောင့် ၎င်း၏ပျော့ပျောင်းသောအချက်မှာ အခြေခံအားဖြင့် 55 မှ 95 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်ကြားတွင်ရှိပြီး ရော်ဘာအလွှာ သို့မဟုတ် အစေးပျော့သွားပါက၊ ပန်းကန်ပြားသည် နည်းပါးသောကြောင့် ဖြတ်တောက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း အလွယ်တကူ အပူတက်လာနိုင်ပြီး ပျော့ပျောင်း အရည်ပျော်သွားစေရန်၊ သံမဏိဝိုင်ယာကြိုးများနှင့် ဆီလီကွန်ဝေဖာမျက်နှာပြင်တို့ တွဲလျက်၊ စိန်လိုင်း၏ ဖြတ်တောက်နိုင်မှု လျော့နည်းသွားခြင်းကြောင့်၊ သို့မဟုတ် ဆီလီကွန်ဝေဖာများကို လက်ခံရရှိပြီး၊ သစ်စေးဖြင့် စွန်းထင်းနေသည်၊ တွဲပြီးသည်နှင့် ဆေးကြောရန် အလွန်ခက်ခဲသည်၊ ထိုသို့သော ညစ်ညမ်းမှုသည် ဆီလီကွန် wafer ၏ အစွန်းအစွန်းအနီးတွင် ဖြစ်တတ်သည်။
(၃) ဆီလီကွန်မှုန့်- စိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်တောက်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဆီလီကွန်မှုန့်အမြောက်အများကို ဖြတ်တောက်ခြင်းဖြင့် အင်္ဂတေအအေးခံအမှုန့်ပါဝင်မှု ပိုများလာမည်ဖြစ်ပြီး အမှုန့်လုံလောက်စွာ ကြီးမားလာသောအခါတွင် ဆီလီကွန်မျက်နှာပြင်ကို တွယ်ကပ်စေမည်ဖြစ်သည်။ ဆီလီကွန်မှုန့် အရွယ်အစားနှင့် အရွယ်အစား စိန်ဝါယာကြိုးများကို ဖြတ်တောက်ခြင်းသည် ဆီလီကွန်မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် စုပ်ယူရန် ပိုမိုလွယ်ကူစေပြီး သန့်ရှင်းရန် ခက်ခဲစေသည်။ထို့ကြောင့် coolant ၏ အရည်အသွေးနှင့် update ကိုသေချာစေပြီး coolant တွင် အမှုန့်ပါဝင်မှုကို လျှော့ချပါ။
(4) သန့်ရှင်းရေးအေးဂျင့်: လက်ရှိအသုံးပြုနေသောစိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်တောက်ခြင်းထုတ်လုပ်သူအများစုသည်တစ်ချိန်တည်းတွင်အင်္ဂတေဖြတ်တောက်ခြင်းကိုအသုံးပြုကြသည်၊ အများအားဖြင့် mortar cutting prewashing၊ cleaning process နှင့် cleaning agent စသည်တို့ကိုအသုံးပြုသည်၊ တစ်ခုတည်းသောစိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်တောက်ခြင်းနည်းပညာကိုဖြတ်တောက်ခြင်းယန္တရား၊ လိုင်းအပြည့်အစုံ၊ coolant နှင့် mortar cutting တို့သည် ကြီးမားသော ခြားနားချက် ရှိသည်၊ ထို့ကြောင့် သက်ဆိုင်ရာ သန့်ရှင်းရေး လုပ်ငန်းစဉ်၊ cleaning agent dosage၊ formula စသည်တို့သည် စိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်တောက်ခြင်းအတွက် သက်ဆိုင်ရာ ချိန်ညှိမှုကို ပြုလုပ်သင့်ပါသည်။သန့်စင်ရေးအေးဂျင့်သည် အရေးကြီးသော ရှုထောင့်တစ်ခုဖြစ်သည်၊ မူလသန့်ရှင်းရေးအေးဂျင့်ဖော်မြူလာ surfactant၊ အယ်ကာလီဓာတ်သည် စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်တောက်ခြင်းဆီလီကွန်ဝေဖာကို သန့်ရှင်းရေးအတွက် မသင့်လျော်ပါ၊ စိန်ဝါယာကြိုးဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ မျက်နှာပြင်အတွက် ဖြစ်သင့်သည်၊ ပစ်မှတ်ထားသော သန့်စင်ဆေး၏ မျက်နှာပြင်အကြွင်းအကျန်များနှင့် ပေါင်းစပ်ပါဝင်မှု၊ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်။အထက်တွင်ဖော်ပြခဲ့သည့်အတိုင်း၊ အညစ်အကြေးဖျက်ဆေး၏ဖွဲ့စည်းမှုကို အင်္ဂတေဖြတ်တောက်ရာတွင် မလိုအပ်ပါ။
(5) ရေ- စိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်တောက်ခြင်း၊ ကြိုတင်ဆေးကြောခြင်းနှင့် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်းတွင် လျှံနေသောရေတွင် အညစ်အကြေးများပါရှိသည်၊ ၎င်းကို ဆီလီကွန် wafer ၏မျက်နှာပြင်တွင် စုပ်ယူနိုင်ပါသည်။
ကတ္တီပါဆံသား ဖြူဖွေးလာစေရန် ပြဿနာကို လျှော့ချရန် အကြံပြုအပ်ပါသည်။
(၁) ကောင်းစွာပျံ့နှံ့မှုရှိသော coolant ကိုအသုံးပြုရန်နှင့် ဆီလီကွန် wafer ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ coolant အစိတ်အပိုင်းများ၏ကျန်ရှိနေမှုကိုလျှော့ချရန်အတွက် coolant သည် low-residue defoaming agent ကိုအသုံးပြုရန်လိုအပ်ပါသည်။
(၂) ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ လေထုညစ်ညမ်းမှုကို လျှော့ချရန် သင့်လျော်သော ကော်နှင့် အစေးပြားကို အသုံးပြုပါ။
(၃) အသုံးပြုထားသောရေတွင် အလွယ်တကူကျန်ကြွင်းသော အညစ်အကြေးများမရှိစေရန် အအေးခံရည်ကို သန့်စင်သောရေဖြင့် ရောမွှေပါ။
(၄) စိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်ထားသော ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ မျက်နှာပြင်အတွက်၊ လုပ်ဆောင်ချက်နှင့် သန့်ရှင်းရေးအကျိုးသက်ရောက်မှုကို ပိုမိုသင့်လျော်သော သန့်စင်ဆေးကို အသုံးပြုပါ။
(5) ဖြတ်တောက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဆီလီကွန်မှုန့်ပါဝင်မှုကို လျှော့ချရန် စိန်လိုင်းအအေးခံသည့် အွန်လိုင်းပြန်လည်ရယူသည့်စနစ်ကို အသုံးပြုပါ၊ ဝေဖာ၏ဆီလီကွန်ဝေဖာမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ဆီလီကွန်မှုန့်အကြွင်းအကျန်များကို ထိထိရောက်ရောက်ထိန်းချုပ်နိုင်စေရန်။တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ ၎င်းသည် ဆီလီကွန်မှုန့်များကို အချိန်မီဆေးကြောကြောင်း သေချာစေရန်အတွက် ရေအပူချိန်၊ စီးဆင်းမှုနှင့် အချိန်တို့ကို မြှင့်တင်ပေးနိုင်သည်။
(၆) ဆီလီကွန် ဆပ်ပြာကို သန့်ရှင်းရေး စားပွဲပေါ် တင်လိုက်သည်နှင့် ချက်ချင်း ကုသပြီး သန့်ရှင်းရေး လုပ်ငန်းစဉ် တစ်ခုလုံးတွင် ဆီလီကွန် ဝေဖာကို စိုစွတ်နေအောင် ထားပါ။
(၇) ဆီလီကွန် wafer သည် မျက်နှာပြင်ကို degumming လုပ်စဉ်တွင် စိုစွတ်စေပြီး သဘာဝအတိုင်း ခြောက်သွားခြင်း မပြုလုပ်နိုင်ပါ။(၈) ဆီလီကွန် wafer ၏ သန့်ရှင်းရေး လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ ဆီလီကွန် wafer ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ပန်းပွင့်ထွက်ခြင်းကို တားဆီးရန် လေထဲတွင် ထိတွေ့သည့်အချိန်ကို တတ်နိုင်သမျှ လျှော့ချနိုင်သည်။
(၉) သန့်ရှင်းရေးဝန်ထမ်းသည် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးတွင် ဆီလီကွန် wafer မျက်နှာပြင်ကို တိုက်ရိုက်မထိတွေ့စေရ၊ လက်ဗွေပုံနှိပ်ခြင်းမပြုလုပ်ရန် ရာဘာလက်အိတ်များ ၀တ်ဆင်ရမည်။
(10) အကိုးအကား [2] တွင် ဘက်ထရီ အဆုံးသည် ဟိုက်ဒရိုဂျင်ပါအောက်ဆိုဒ် H2O2 + အယ်လကာလီ NaOH သန့်ရှင်းရေး လုပ်ငန်းစဉ်ကို 1:26 (3%NaOH ဖြေရှင်းချက်) ၏ ထုထည်အချိုးအစားအတိုင်း အသုံးပြု၍ ပြဿနာဖြစ်ပွားမှုကို ထိရောက်စွာ လျှော့ချနိုင်သည်။၎င်း၏နိယာမသည် ဆီလီကွန်ဝေဖာတစ်ခု၏ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းဆီလီကွန် wafer (အများအားဖြင့် အရည် 1 ဟုလူသိများသည်) SC1 သန့်ရှင်းရေးဖြေရှင်းချက်နှင့် ဆင်တူသည်။၎င်း၏အဓိကယန္တရား- ဆီလီကွန် wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ oxidation film သည် NaOH မှ ယိုယွင်းနေသော H2O2 ၏ ဓာတ်တိုးမှုကြောင့်ဖြစ်ပြီး ဓာတ်တိုးခြင်းနှင့် ချေးတက်ခြင်းတို့သည် ထပ်ခါတလဲလဲ ဖြစ်ပေါ်ပါသည်။ထို့ကြောင့်၊ ဆီလီကွန်မှုန့်၊ အစေး၊ သတ္တုစသည်) နှင့် ဆက်စပ်နေသော အမှုန်များသည် သံချေးတက်သည့်အလွှာနှင့်အတူ သန့်ရှင်းရေးအရည်ထဲသို့ ကျသွားသည်။H2O2 ၏ ဓာတ်တိုးမှုကြောင့် wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အော်ဂဲနစ်ပစ္စည်းများသည် CO2၊ H2O အဖြစ် ပြိုကွဲသွားပြီး ဖယ်ရှားသည်။ဤသန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်သည် စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်တောက်ခြင်း monocrystalline silicon wafer၊ ပြည်တွင်းနှင့် ထိုင်ဝမ်နှင့် အခြားဘက်ထရီထုတ်လုပ်သူများမှ သုတ်ထားသော ကတ္တီပါအဖြူရောင်ပြဿနာကို တိုင်တန်းအသုံးပြုခြင်းအတွက် ဆီလီကွန်ဝေဖာ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြု၍ သန့်ရှင်းရေးပြုလုပ်ခြင်းဖြစ်သည်။အလားတူ ကတ္တီပါအကြို သန့်ရှင်းရေး လုပ်ငန်းစဉ်ကို ဘက်ထရီ ထုတ်လုပ်သူများလည်း အသုံးပြုပြီး ကတ္တီပါအဖြူ၏ အသွင်အပြင်ကို ထိထိရောက်ရောက် ထိန်းချုပ်နိုင်သည် ။ဘက်ထရီအဆုံးတွင် ဆံပင်ဖြူပြဿနာကို ထိထိရောက်ရောက်ဖြေရှင်းနိုင်စေရန် ဆီလီကွန်ဝေဖာအကြွင်းအကျန်များကို ဖယ်ရှားရန်အတွက် ဤသန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်ကို ဆီလီကွန်ဝေဖာသန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ထည့်သွင်းထားသည်ကို တွေ့မြင်နိုင်သည်။
နိဂုံးချုပ်
လက်ရှိတွင် စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်တောက်ခြင်းသည် တစ်ခုတည်းသောပုံဆောင်ခဲဖြတ်ခြင်းနယ်ပယ်တွင် အဓိကလုပ်ဆောင်သည့်နည်းပညာဖြစ်လာသော်လည်း ကတ္တီပါအဖြူပြုလုပ်ခြင်းပြဿနာကို မြှင့်တင်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဆီလီကွန်ဝေဖာများနှင့် ဘက်ထရီထုတ်လုပ်သူများကို နှောက်ယှက်ခဲ့ပြီး ဘက်ထရီထုတ်လုပ်သူများထံသို့ စိန်ဝိုင်ယာဖြတ်တောက်ခြင်းဆီလီကွန်ဆီလီကွန်ဖြတ်တောက်ခြင်းဆိုင်ရာပြဿနာ၊ wafer သည်အချို့သောခံနိုင်ရည်ရှိသည်။အဖြူရောင်ဧရိယာကို နှိုင်းယှဉ်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်းအားဖြင့်၊ ၎င်းသည် အဓိကအားဖြင့် ဆီလီကွန် wafer ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အကြွင်းအကျန်များကြောင့် ဖြစ်ရသည်။ဆဲလ်အတွင်းရှိ ဆီလီကွန် wafer ပြဿနာကို ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ ကာကွယ်ရန်အတွက်၊ ဤစာတမ်းသည် ဆီလီကွန် wafer ၏ မျက်နှာပြင်ညစ်ညမ်းမှု ဖြစ်နိုင်ခြေ အရင်းအမြစ်များ၊ ထုတ်လုပ်မှုတွင် အကြံပြုချက်များနှင့် အစီအမံများကို ပိုမိုကောင်းမွန်အောင် ပြုလုပ်ထားသည်။အရေအတွက်၊ နေရာဒေသနှင့် ပုံသဏ္ဍာန်အရ အဖြူရောင်အစက်အပြောက်များ၏ အကြောင်းရင်းများကို ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာပြီး မြှင့်တင်နိုင်ပါသည်။အထူးသဖြင့် ဟိုက်ဒရိုဂျင်ပါအောက်ဆိုဒ် + အယ်လကာလီ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြုရန် အကြံပြုထားသည်။အောင်မြင်သောအတွေ့အကြုံက စိန်ဝါယာကြိုးဖြတ်တောက်ခြင်း ပြဿနာကို ဆီလီကွန်ဝေဖာဖြင့် ကတ္တီပါဖြူအောင်ပြုလုပ်ခြင်းပြဿနာကို ယေဘူယျစက်မှုလုပ်ငန်းအတွင်းလူများနှင့် ထုတ်လုပ်သူများ၏ ရည်ညွှန်းချက်အတွက် သက်သေပြခဲ့သည်။
စာတိုက်အချိန်- မေလ ၃၀-၂၀၂၄